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            廣州啟綠空氣凈化設備有限公司

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            潔凈技術

            多晶硅潔凈廠房高效過濾器的空氣調節與凈化-《多晶硅工廠設計規范》GB 51034-2014

            發表時間:2018-06-30 11:36:02瀏覽量:


                潔凈廠房設置多套凈化空調系統,新風集中處理的時候對新房機組功能的要求。主要是為了安全和節能。一般有潔凈等級的潔凈室高效過濾器宜設在空調系統末端;對于三級過濾凈化空調,高效過濾器可設在凈化空調機組內中效過濾器后的正壓段上。空氣過濾器分類、性能指標參照了現行國家標準《空氣過濾器》GB/T 14295和《高效空氣過濾器》GB/T 13554的規定。在多晶硅廠房設計中,一般常用的過濾器有粗效過濾器、中效過濾器、亞高效過濾器、高效過濾器。

            10.3.2 本條主要是從安全、節能、環保及便于運行管理等方面考慮的。

            10.3.3 本條中空氣潔凈度等級及送風量主要依據現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073,潔凈室送風量(靜態)和氣流流型見表1。

            表1 潔凈室送風量(靜態)和氣流流型

            空氣潔凈度等級氣流流型平均風速(m/s)換氣次數(次/h)
            1~5單向流或混合流0.20~0.45
            6非單向流50~60
            7非單向流15~20
            8~9非單向流10~15

                表1中換氣次數適用于層高小于4.0m的潔凈室;室內人員少、熱源少時,宜采用下限值。
                根據國內現有多晶硅生產廠房的實際情況制訂的“三級過濾”,就是將粗、中、高效過濾段全部設在凈化空調機組內,用風管將凈化的空氣直接送入潔凈室或房間,不再設高效過濾器送風口。這種空氣凈化形式可以滿足多晶硅廠房部分工藝生產的要求,減少投資,運行管理方便。這里規定還原爐室的送風換氣次數,主要是對應還原爐室的排風量不得小于6次/h的換氣次數。

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            10.3.4 本條是強制性條文。關于潔凈室新鮮空氣量的問題,現行國家標準《工業企業設計衛生標準》GBZ 1和《采暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019都對空調房間人員所需最小新風量作了強制規定,“工業建筑應保證每人不小于30m3/h的新風量”。現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073規定“保證供給潔凈室每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3”,因此本規定對潔凈區和非潔凈區的新風量采用了不同標準,以保障人身安全。

            10.3.5 “集中送風”是指凈化空調機組設在空調機房,空氣經過過濾、加熱、制冷、加濕等集中處理之后,由風管送入潔凈室。“風機過濾機組”是指由風機和高效過濾單元組成的機組。多晶硅廠房凈化空調系統,一般潔凈等級在6級以下時,采用集中送風形式;潔凈等級在5級以上(包括5級)時,采用集中送風加風機過濾機組的形式。

            10.3.6 本條是強制性條文,對潔凈室壓差控制作出規定。為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時受到破壞時,氣流能從空氣潔凈度高的區域流向空氣潔凈度低的區域,而且潔凈室的潔凈度不受污染空氣的干擾,所以潔凈室與周圍環境應保持一定的壓差。

            10.3.7 本條是保證潔凈室壓差控制的措施。

            10.3.8 本條對潔凈室噪聲級提出要求。“空態”是指潔凈室設施已經建成,所有動力接通并運行,但無生產設備、材料及人員的階段。

            10.3.9 本條是強制性條文。還原車間生產使用氫氣,火災危險性分類為甲類,現行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019相關條文強制規定,甲、乙類生產廠房不應使用循環空氣,
            以保障人身安全。

            10.3.10 腐蝕清洗室、配件清洗室、硅棒破碎室空氣潔凈度分別為7級以上、8級、7級,工藝生產有酸性腐蝕性氣體或有粉塵,局部排風不能完全排除酸氣及粉塵,這樣凈化空調系統就不應回風。

            10.3.11 本條是潔凈廠房設置多套凈化空調系統,新風集中處理的時候對新房機組功能的要求。主要是為了安全和節能。

            10.3.12 空氣過濾器分類、性能指標參照了現行國家標準《空氣過濾器》GB/T 14295和《高效空氣過濾器》GB/T 13554的規定。在多晶硅廠房設計中,一般常用的過濾器有粗效過濾器、中效過濾器、亞高效過濾器、高效過濾器。
                過濾器的額定風量是過濾器在一定的過濾風速下,其效率和阻力最合理時的風量。如果大于額定風量,過濾器阻力增大,導致系統阻力增加。對于高效過濾器,風速過大有可能吹破濾紙。
                中效過濾器集中設置在凈化空調機組的正壓段,主要是考慮到機組的負壓段向內漏風,影響過濾效果。
                一般有潔凈等級的潔凈室,高效過濾器宜設在空調系統末端;對于三級過濾凈化空調,高效過濾器可設在凈化空調機組內中效過濾器后的正壓段上。

            10.3.14 在凈化空調系統中,空氣過濾器的阻力占空調系統總阻力的比例很大,空氣過濾器的阻力會隨著容塵量的增多而增加,使系統的風量減少,因此在計算系統阻力時應按過濾器的終阻力計算。系統初運行時,過濾器初阻力較小,系統阻力低,風機采用變頻裝置可以調節風量,達到節能目的。


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