潔凈室對等級表粒徑之外的粒子之粒徑和計數的考慮

E．1  通則

    在某些情況下，特別是與具體工藝要求相連的情況下，可以依據等級表粒徑范圍之外的粒子群體規定另外適用的空氣潔凈度級別。用戶和供應商應就這類粒子的最大允許濃度和選擇驗證相符性的測試方法等問題達成協議。在E．2（U描述符）和E．3（M描述符）中給出了關于測試方法和規定的技術要求形式的考慮。

E．2  小于0.1μm的粒子（超微粒子）的評價——U描述符

E．2．1  應用

    如果要評定小于0.1μm的粒子造成的污染危險，應采用適合于這類粒子具體特性的采樣裝置和測量程序。

    應該按照B．4．1確定采樣點的數目，最小采樣量V_s應為2L（B.4.2.2）

E．2．2  U描述符的形式

    U描述符的超微粒子濃度可以單獨應用，或者是作為懸浮粒子潔凈度級別的補充來應用。U描述符用“U（x;y）”的形式表示，其中，

    x——超微粒子的最大允許濃度（以超微粒子pc/m³空氣表示）；

    y——以微米計的粒徑的，用適宜的離散粒子計數器對這種粒子數計數時，計數效率為50%。

實例  如粒徑范圍為，最大允許超微粒子的濃度為140000 pc/m³，其標識符為“U（140000；0.1μm）”。

注1 在IEST-G-CC1002[1]中給出了小于0.1μm的懸浮粒子濃度測試方法。

注2 如果用U描述符作為懸浮粒子潔凈度級別的補充，超微粒子的濃度（x）不得小于規定的ISO等級之0.1μm被考慮粒徑適用的粒子濃度限值（pc/m³）。

E．3  大于5μm的粒子（大粒子）的評價——M描述符

E．3．1  應用

    如果要評定大于5μm的粒子造成的污染危險，應采用適合于這類粒子具體特性的采樣裝置和測量程序。

    懸浮粒子群體中的大粒子主要是在工藝環境中釋放出的粒子。應該根據具體的應用來確定適用的采樣裝置和測量程序。需要考慮的因素有粒子的密度、形狀、容積和空氣動力特性。還可能需要特殊強調的在總懸浮粒子中的特殊成份，如纖維。

E．3．2  M描述符的形式

    M描述符可以單獨應用，或者是作為懸浮粒子潔凈度級別的補充來應用。M描述符用“M（a; b）; c”的形式表示，其中，

    a——大粒子的最大允許濃度（以大粒子pc/m³空氣表示）；

    b——當量直徑（或直徑），與規定的測量大粒子的方法相關（以微米表示）；

    c——規定的測量方法

注1  如果采樣的懸浮粒子群體中含有纖維，則可以向M描述符附加一個單獨的纖維用描述符，表示形式為M_fiber (a; b; ):c。

例1  如果使用測定粒子空氣動力直徑的浮游氣溶膠粒子計數器，粒徑范圍為≥5μm的懸浮粒子的濃度為10000 pc/m³，則其標識符為“M(10000;>5μm)；浮游氣溶膠粒子計數器”。

例2  如果使用多級沖擊取樣器，然后再用顯微法測定粒徑并計數，粒徑范圍為10-20μm的懸浮粒子的濃度為1000 pc/m³，則其標識符為“M(1000;10-20μm)；多級沖擊采樣器，然后再用顯微法測定粒徑并計數”。

注2  在IEST-G-CC1003[2]中給出了大于5μm的懸浮粒子濃度的測試方法。

注3  如果用M描述符作為懸浮粒子潔凈度級別的補充，大粒子的濃度(a)不得大于規定的ISO等級之5μm被考慮粒徑適用的粒子嘗試限值（pc/m³）。